混合氣體 乙硼烷混合氣 B2H6 Mix 四氟化碳混合氣 CF4 Mix 磷烷混合氣 PH3 Mix 硅烷混合氣 SiH4 Mix 乙硅烷混合氣 Si2H6 Mix 氧氣混合氣 O2 Mix 鍺烷混合氣 GeH4 Mix 乙烯混合氣 C2H4 Mix
