產(chǎn)品主要作用：半導(dǎo)體器件制備工藝中晶體生長(zhǎng)、等離子干刻、載流等工序

產(chǎn)品中文名：氦氣

產(chǎn)品英文名：Helium

化學(xué)式：He

CAS號(hào)：7440-59-7

UN 號(hào)：1046

純度：99.999% 和99.9999%

閥門型號(hào)：CGA580