氯氣
產品介紹
產品主要作用:用作標準氣、校正氣;用于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、熱氧化等工序
產品中文名:氯氣
產品英文名:Chlorine
化學式:Cl2
CAS號:75-46-7
UN 號:1017
純度:99.999%
閥門型號:CGA660/DISS634
氯氣
產品主要作用:用作標準氣、校正氣;用于半導體器件制備工藝中晶體生長、等離子干刻、熱氧化等工序
產品中文名:氯氣
產品英文名:Chlorine
化學式:Cl2
CAS號:75-46-7
UN 號:1017
純度:99.999%
閥門型號:CGA660/DISS634