產品中心 乙硼烷混合氣 B2H6 Mix 四氟化碳混合氣 CF4 Mix 磷烷混合氣 PH3 Mix 硅烷混合氣 SiH4 Mix 乙硅烷混合氣 Si2H6 Mix 氧氣混合氣 O2 Mix 鍺烷混合氣 GeH4 Mix 乙烯混合氣 C2H4 Mix 四氟化硅 SiF4 氯氣 Cl2 四氟化碳 CF4 三氟甲烷 CHF3