產品主要作用：用作標準氣、零點氣、平衡氣；用于半導體器件制備工藝中晶體生長、熱氧化、外延、擴散、氮化、噴射、等離子干刻、載流、退火、搭接、燒結等工序；特種混合氣與工業混合氣也使用氫

產品中文名：氬氣

產品英文名：Argon

化學式：Ar

CAS號：7440-37-1

UN 號：1006

純度：99.999% 和99.9999% 

閥門型號：CGA580/CGA350