二氯二氫硅
產品介紹
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序
產品中文名:二氯二氫硅
產品英文名:Dichlorosilane
化學式:SiH2Cl2
CAS號:4109-96-0
UN 號:2189
純度: 99.99%和99.999%
閥門型號:CGA678
二氯二氫硅
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序
產品中文名:二氯二氫硅
產品英文名:Dichlorosilane
化學式:SiH2Cl2
CAS號:4109-96-0
UN 號:2189
純度: 99.99%和99.999%
閥門型號:CGA678