產(chǎn)品主要作用：用于半導(dǎo)體器件制備工藝中外延、化學(xué)氣相淀積工序

產(chǎn)品中文名：三氯氫硅

產(chǎn)品英文名：Trichlorosilane

化學(xué)式：SiHCl3

CAS號：10025-78-2

UN 號：1295

純度：99.999%

閥門型號：1/4VCR/1/2VCR