氧氣
產品介紹
產品主要作用:在半導體器件制備工藝中用于熱氧化、擴散、化學氣相淀積、等離子干刻等工序
產品中文名:氧氣
產品英文名:Oxygen
化學式:O2
CAS號:7782-44-7
UN 號:1072
純度:99.9999%
閥門型號:CGA580
氧氣
產品主要作用:在半導體器件制備工藝中用于熱氧化、擴散、化學氣相淀積、等離子干刻等工序
產品中文名:氧氣
產品英文名:Oxygen
化學式:O2
CAS號:7782-44-7
UN 號:1072
純度:99.9999%
閥門型號:CGA580