三氯氫硅
產品介紹
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序
產品中文名:三氯氫硅
產品英文名:Trichlorosilane
化學式:SiHCl3
CAS號:10025-78-2
UN 號:1295
純度: 99.999%
閥門型號:1/4VCR/1/2VCR
三氯氫硅
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積工序
產品中文名:三氯氫硅
產品英文名:Trichlorosilane
化學式:SiHCl3
CAS號:10025-78-2
UN 號:1295
純度: 99.999%
閥門型號:1/4VCR/1/2VCR