產品主要作用：用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入、等離子干刻、光刻、退火、搭接、燒結等工序

產品中文名：氮氣

產品英文名：Nitrogen

化學式：N2

CAS號：7727-37-9

UN 號：1066

純度：99.9999%

閥門型號：CGA580