硅烷
產品介紹
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積等工序
產品中文名:硅烷
產品英文名:Silane
化學式:SiH4
CAS號:7803-62-5
UN 號:2203
純度:99.9999%
閥門型號:CGA350/DISS632
硅烷
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、化學氣相淀積等工序
產品中文名:硅烷
產品英文名:Silane
化學式:SiH4
CAS號:7803-62-5
UN 號:2203
純度:99.9999%
閥門型號:CGA350/DISS632