SDS磷烷
產品介紹
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序
產品中文名:SDS磷烷
產品英文名:Phosphine
化學式:PH3
CAS號:7803-51-2
UN 號:2199
純度:>99.9999%
閥門型號:1/4VCR/1/2VCR
SDS磷烷
產品主要作用:用于半導體器件制備工藝中外延、擴散、化學氣相淀積、離子注入等工序
產品中文名:SDS磷烷
產品英文名:Phosphine
化學式:PH3
CAS號:7803-51-2
UN 號:2199
純度:>99.9999%
閥門型號:1/4VCR/1/2VCR