產(chǎn)品主要作用：用于化學(xué)氣相淀積工序;制備氟硅酸及其鹽類(lèi)

產(chǎn)品中文名：SDS四氟化硅

產(chǎn)品英文名：Silicon Tetrafluoride

化學(xué)式：SiF4

CAS號(hào)：7783-61-1

UN 號(hào)：1859

純度：>99.999%

閥門(mén)型號(hào)：1/4VCR/1/2VCR